расширенный поиск

Книга: Физические основы микроэлектроники

учебник для студ.высш.учеб.заведений, ВУЗ

Автор: Марголин В.И.
Издательство: Academia
Вес: 0.470 кг.
Год издания: 2008
Формат: 21,5x14,5x1 см
Страниц: 400
Товар отсутствует
Узнать о поступлении

Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений.

Читать далее