КОД (ISBN):
978-5-7695-4227-5

Книга: Физические основы микроэлектроники

Товар № 10011100

учебник для студ.высш.учеб.заведений, ВУЗ

Автор: Марголин В.И.

Издательство: Academia

Вес: 0.470 кг.

Год издания: 2008

Формат: 21,5x14,5x1 см

Страниц: 400

Товар отсутствует

Узнать о поступлении

Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений.