КОД (ISBN):
978-5-94774-336-4

Книга: Технология конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем.Ч 1Т.1

Товар № 2055250

В 2 ч. Ч. 1 Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование

Автор: Королев М.А., Крупкина Т.Ю., Ревелева М.А.

Издательство: Бином

Вес: 0.520 кг.

Год издания: 2007

Страниц: 397

Том: В 2 ч. Ч. 1 Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование

Товар отсутствует

Узнать о поступлении

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.