КОД (ISBN):
978-5-94774-583-2
978-5-94774-585-6
978-5-94774-583-2
978-5-94774-585-6
Книга: Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Товар № 10036266
ВУЗ
В 2 ч. Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделировани
Товар отсутствует |
Узнать о поступлении |
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области . . . .
Читать далее