расширенный поиск

Книга: Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем

Товар № 10036266

ВУЗ

В 2 ч. Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделировани
Автор: Королев М.А., Крупкина Т.Ю., Путря М.Г.
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Вес: 0.504 кг.
Год издания: 2012
Формат: 60х90/16
Страниц: 422 Переплет: Твердый переплет
Том: В 2 ч. Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделировани
Товар отсутствует
Узнать о поступлении

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области . . . .

Читать далее