КОД (ISBN):
978-5-9963-0336-6
978-5-9963-0341-0

Книга: Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий

Товар № 10166839

учебное пособие для вузов

В 2 т. Т. 2: Технологические аспекты

Автор: Акуленок М.В

Издательство: Бином. Лаборатория знаний

Вес: 0.370 кг.

Год издания: 2014

Формат: 60х90/16

Страниц: 252 Переплет: Твердый переплет

Том: В 2 т. Т. 2: Технологические аспекты

Цена: 774 руб.

В КОРЗИНУ

Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающеюся интегральных микро- и нанотехнологий; при пом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес.
Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и "сухого травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологии микро-и наноэдектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химичеекосо и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии.
Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и нанозлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей.