978-5-9916-7155-2
Книга: Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы
учебник для бакалавриата и магистратуры
Товар отсутствует |
Узнать о поступлении |
Серия "Университеты России" позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах университетов. Все представленные в этой серии учебники прошли экспертную оценку учебно-методического отдела издательства и публикуются в оригинальной редакции.
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры - технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.
Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям "Проектирование и технология электронных устройств", "Проектирование и технология радиоэлектронных средств", "Конструирование и технология радиоэлектронных стредств" и "Микроэлектроника", может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.