расширенный поиск

Книга: МЭМС: конструкции, технологии, приложения

Товар № 12319089

В книге представлены систематизированные результаты детального анализа современного

состояния и перспектив развития одного из наиболее стремительно развивающихся на стыке

микромеханики и микроэлектроники научно-технических направлений – микроэлектромехани-

ческих систем (МЭМС).

Книга ориентирована на достаточно широкую аудиторию – от студентов, аспирантов

и преподавателей технических вузов, специализирующихся в области микроэлектроники, до

инженеров – разработчиков микросхем и электронных систем на их основе, инженеров –

технологов серийных производств, сотрудников отраслевых исследовательских лабораторий

и академических институтов, специалистов радиоэлектронной, автомобильной и космической

техники.

В восемнадцати тематических главах последовательно на конкретных примерах рассмотрены

все основные этапы создания МЭМС, начиная от анализа типовых конструкций классических

датчиков и гироскопов, особенностей реализации этих конструкций в виде МЭМС-устройств,

основных технологических процессов изготовления МЭМС, методов и технологий корпусиро-

вания МЭМС-устройств, инструментов моделирования и проектирования и заканчивая стандар-

тами, видами и методами испытаний МЭМС-устройств.

Подробно в объеме отдельных глав рассмотрены особенности технологии и конструкции

оптических МЭМС (ОМЭМС), наноэлектромеханических систем (НЭМС), а также основные

сферы применения МЭМС – автомобилестроение (противоугонные и навигационные системы,

системы безопасности, датчики давления в шинах, датчики электронных систем управления

двигателей, обеспечение курсовой устойчивости, управления тормозами и т.д.), биомедицинские

приложения МЭМС (био-МЭМС, применения в хирургии, офтальмологии, имплантируемые

датчики, для обработки внутрисердечных сигналов, для систем электроэнцефалограмм,

в томографии, микрофлюидные кристаллы и др.), а также СВЧ-приложения.

Завершает книгу глава, посвященная бесплатформенным инерциальным навигационным систе-

мам ориентации и навигации на основе МЭМС-датчиков (принципы построения, методы

калибровки инерциальных чувствительных элементов, информационно-управляющие системы

вращающихся по крену летательных аппаратов)

Читать далее