КОД (ISBN):
978-5-9692-0304-4

Книга: Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектр. Уч. пос.

Товар № 10015944

учебное пособие, ВУЗ

Автор: Белов А.Н., Гаврилов С.А.

Издательство: Высшее образование

Вес: 0.360 кг.

Год издания: 2009

Формат: 20.7 x 13.7 x 1.7

Страниц: 257 Переплет: Твердый переплет

Товар отсутствует

Узнать о поступлении

Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. .Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. .