5-217-02825-4
Книга: Машиностроение: Энциклопедия в 40 т. Т. III-8. Технологии, оборудование и системы управления в электронном машиностроении
энциклопедия
Товар отсутствует |
Узнать о поступлении |
Показаны уникальные возможности воздействия на конструкционные материалы высокоэнергетических электронных и ионных пучков, низкотемпературной газоразрядной плазмы и точно дозированных молекулярных потоков. Обобщен отечественный и мировой опыт создания оборудования для производства изделий электронной техники и изложены принципы построения систем автоматического управления. Описаны методы и средства получения и поддержания сверхчистых технологических сред, атмосферы чистых производственных помещений. Систематизированы уникальные технологические процессы изготовления интегральных микросхем и печатных плат, электровакуумных и других приборов. Даны основные понятия, этапы и отражены тенденции развития мехатронных систем.