КОД (ISBN):
5-03-000280-4
5-03-000280-4
Книга: Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: Сб. статей 1986-1987 гг.: Пер. с англ.
Товар № 12190251
Цена: 2 129 руб.
Сборник обзорных статей американских, европейских и канадских специалистов, в которых обобщаются и анализируются современные методы распыления материалов под действием ионных пучков и частиц плазмы, используемые в микроэлектронике, космической и термоядерной технологии и др. Рассмотрены
методы анализа и моделирования распыления материалов, в том числе многослойных покрытий и многокомпонентных материалов, описаны методы расчета топологии поверхностей, образующихся под действием ионной бомбардировки.
Для специалистов в области радиационного материаловедения, микроэлектроники, физической электроники, физики плазмы, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей.
Читать далее